可调变预电离小型XeCl准分子激光器的特性研究

【摘要】 <正> 采用预电离与主放电同轴的新型结构具有预电离均匀、效率高、光斑质量好、工作电压低等许多优点。在激光器预电离室内安装一对可调变狭缝,实现了预电离体积的可调变。给出了缝宽在1～8mm之间时输出能量的变化,而且放电同样均匀、稳定。表明了该激光器预电离强而均匀,在缝宽最小时仍能维持主放电均匀点火。同时,我们分别对Ne、Ar、Ar+He等不同缓冲气体在不同气压、不同电压下对输出的影响作了进一步实验和分析。结果是,Ne作更多还原