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激光合成非晶态Si3N4粉末

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【作者】 李道火； 赵秉纯； 赵华珍； 仲志英； 李建国； 宋瑞舟； 宁海平； 费渊；

【机构】 中国科学院安徽光机所； 中国科学院安徽光机所；

【摘要】 <正> 用400W连续CO2激光辐照SiH4以及SiH4+NH3的快速流动气体,获得了非晶硅粉末和非晶氮化硅粉末,颗粒度<0.2μm。观察了压力、流速、配比、谱线、功率与生成物之间的关系。对生成的粉末进行了化学计量、全相、光谱和结构分析,发现激光合成的非晶Si3N4粉末Si-N键红外吸收峰为951cm-1,相对于其它方法得到的非晶Si3N4有较大蓝移现象,甚至

【关键词】 Si3N4； 颗粒度； 蓝移现象； 氮化硅； 全相； 非晶态； 化学计量； 结构分析； 吸收峰； 非晶硅；
  • 【文献出处】 中国激光 ,Chinese Journal of Lasers , 编辑部邮箱 ,1986年09期
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