节点文献

Si3N4/Si半导体电极的研究

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 傅敏恭； 钟仕科；

【机构】 江西大学化学系； 江西大学物理系 南昌； 南昌；

【摘要】 <正> 在离子敏感场效应晶体管栅极表面生长一层Si3 N6膜,由于该膜的化学性能稳定,介电常数大,所以已广泛用来制作氢离子敏感器件。Lauks等人将Si3 N6直接沉积在硅片上,与溶液接触形成电解质-绝缘体-半导体模式的电容,并且测定了不同pH的导纳。本文将这种模式的半导体元件作为电极来研究,测试了

【关键词】 半导体电极； Si3N4/Si； 场效应晶体管； 半导体元件； 化学性能稳定； 敏感器件； 氢离子； 表面生长； 电源电压； 化学沉积法；
  • 【下载频次】22
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)