节点文献

红外探测器的高真空烘烤与残气质谱分析

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 徐国琴； 张静芬； 华新德； 王戎兴；

【机构】 中国科学院上海技术物理研究所； 中国科学院上海技术物理研究所；

【摘要】 <正> 本实验使用真空加热烘烤来脱附表面残气,在不影响器件性能的前提下,即在器件能经受的热负载条件下,尽量提高烘烤温度,最大限度地脱附真空层内吸附的残气,同时应用四极质谱系统记录相应的谱图,以分析杜瓦瓶在加热烘烤时脱附的残气。

【关键词】 真空烘烤； 红外探测器； 杜瓦瓶； 器件性能； 烘烤温度； 质谱分析； 真空加热； 内吸附； 热负载； 四极；
  • 【下载频次】25
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)