【摘要】 <正> 离子注入及离子束混合一般包括两类物理过程:一是高速粒子与团体靶原子碰撞和级联碰撞过程,是使固体表面原子无序化过程,其结果是形成大量原子离位,造成结构损伤和缺陷;二是其后的物理化学过程,是按照热力学能量最低原则趋向有序化过程。其中,包括点阵再定位(velocation)的弛豫过程、增强扩散过程、亚稳相回到平衡态过程。在这两类过程中碰撞是整个过程的初始条件,其后物理化学过程是在这一初始条件及一定边界条件下进行的,最后决更多还原