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感应耦合射频等离子体(英)

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【作者】 朱清文；

【机构】 中国科学院力学研究所；

【摘要】 <正> 本文根据Maher Ⅰ.Boulos的“感应耦合射频等离子体”一文,重点介绍其中的感应耦合射频等离子体的基本原理,主要的设计特点和应用部分。

【关键词】 感应耦合； 耦合效率； 工作线圈； 最佳频率； 光谱化学； 函数关系； 趋肤深度； 机械结构； 水冷管； 过放电；
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