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热解氮化硼坩埚的研制及其在分子束外延中的应用
【摘要】 <正> 一、序言热解氮化硼(Pyrolytic Boron Nitride,简称PBN)是特种陶瓷材料,有各向异性和各向同性之分。据文献报导,前者用途较广,而后者尚限于几方面的应用。本文研究前者。PBN材料,从资料推测在六十年代末、七十年代初期,国外从研究已进入生产阶段。开始有商品出售。如今已广泛地用于宇航、电子、电工、化工、冶金、医疗等各领域。由于它的物理和化学性能比较稳定,真空性能好,在半导体材料的制备上有
- 【文献出处】 硅酸盐通报 ,Bulletin of the Chinese Cerrmic Society , 编辑部邮箱 ,1986年05期
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