离子镀膜及其应用

【摘要】 <正> 离子镀膜技术以其特有的优点正越来越引起国内外的重视,近几年发展迅速。离子镀把辉光放电、等离子体技术与真空蒸镀技术结合在一起,提高了镀层的各种性能、扩大了镀膜技术的应用范围。它兼有真空蒸镀和真空溅射的优点,还具有成膜速度快、膜层致密、结合力好、有绕射性、无公害等特点。我国自七十年代后期开始研究,发展迅速,目前该技术已在全国不少省市推广应用。离子镀是在真空条件下,应用气体放电、使气体或被蒸发物质离化、在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应生成物蒸镀在更多还原