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超高频双栅MOS晶体管

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【作者】 赵英；

【机构】 天津理工学院无线电系；

【摘要】 本文综述了双栅MOSFET的工作原理、器件结构和制造工艺.重点介绍适合于超高频工作的Mo栅MOS四极管的设计、结构和制造.

【关键词】 器件结构； 高频工作； 制造工艺； 栅长； 击穿电压； 输入电容； 工作原理； 薄栅氧化层； 外延片； 正向电流；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1986年06期
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