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国外薄膜厚度及表面轮廓分布仪概况
【摘要】 <正>最典型的产品是美国Tencor仪器公司的a(alpha)-台阶薄膜厚度、表面轮廓分布测试仪,Sigmascan薄膜厚度、表面轮廓分布测试仪(它是a-台阶表面轮廓分布仪的改进型)和美国Stoan技术公司的Dektak表面轮廓分布仪.该两类产品都有若干型号.
- 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1986年05期
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【摘要】 <正>最典型的产品是美国Tencor仪器公司的a(alpha)-台阶薄膜厚度、表面轮廓分布测试仪,Sigmascan薄膜厚度、表面轮廓分布测试仪(它是a-台阶表面轮廓分布仪的改进型)和美国Stoan技术公司的Dektak表面轮廓分布仪.该两类产品都有若干型号.