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轨旋式钛泵电离性能的实验研究

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【作者】 孙大明； 汪致善； 陈应山；

【机构】 安徽大学物理系； 安徽大学物理系；

【摘要】 本文就轨旋式钛泵电离性能进行了实验研究，得到最佳电离区域。这一结果与Ｆｅｉｄｔ等［１］的结果几乎是同时获得的。文章还就理论与实验中的一些问题做了讨论。

【关键词】 钛泵； 电离效率； 阳极电压； 收集极； 热电流； 极型； 最佳工作电压； 注入泵； 真空度； 机械泵；
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