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大型钛薄膜吸附泵的抽速测试装置的实验  
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【英文篇名】 AN EXPERIMENT OF THE PUMPING SPEED MEASUREMENT APPARATUS FOR THE LARGE GETTER PUMPING USING Ti-FILM
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【作者】 李高云; 高庆达; 蒋迪奎; 许学富; 李生发;
【英文作者】 Li Gao-yun Gao Qing-da Jiang Di-kui (Institute of Plasma Physics; Academia Sinica; Hefei; China);
【作者单位】 中国科学院合肥等离子体物理研究所;
【文献出处】 真空科学与技术 , , 编辑部邮箱 1985年 06期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【摘要】 本文叙述了一种大型钛薄膜吸附泵的抽速测试方法,介绍了实验原理及测试装置。实验表明,此方法用于测试薄膜吸附泵的抽速是可行的,测得的数据是可靠的。
【更新日期】 2006-11-08
【正文快照】 托卡马克核聚变装置采用中性策注入力。热,注蔬丙将定时地输入脉冲工作气载HZ,故需要大抽速的抽气泵。而钦膜吸确正好具备瞬时的大抽速能力,并对HZ有特高的吸附容量,为此目的使用,既经济实用,又简单方便。但如何测定钦膜的吸气速率,这不仅为检验3XI少升/秒的实验单泵性能所必需

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