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半导体真空规的进展

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【作者】 陈立仁； 王先路； 钱三德； 李自鹏；

【机构】 合肥工业大学； 合肥工业大学；

【摘要】 <正> 热传导真空计是利用低压强下气体热传导与压强有关的原理来进行工作的。热传导真空计有电阻型和热电偶型两种,由于它们工作温度低,测量时对测量对象影响小、结构简单,不怕氧化和在大气压强下不会烧毁等优点,至今仍然是工业上广泛用于低真空测量的主要规型。

【关键词】 热传导真空计； 真空规； 真空测量； 测量对象； 敏感元件； 电阻温度系数； 传感元件； 电桥平衡； 正向压降； 电阻型；
  • 【文献出处】 真空与低温 ,Vacuum and Cryogenics , 编辑部邮箱 ,1985年02期
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