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四极质谱计定量分析的初步实验探讨
【摘要】 <正> 前言随着四极质谱计在真空系统分压强测量中越来越广泛的应用,从各方面都对它提出了定量分析的要求。从原则上讲,如果能够确定各种气体的分压强灵敏度和它们的图样系数,定量分析的问题并没有不可克服的困难。但是理论分析和实验研究都表明,它们不仅与仪器的类型、几何参数、电参数有关,而且与仪器的工作条件和使用情况也有关。同一型号仪器的
- 【文献出处】 真空电子技术 ,Vacuum Electronics , 编辑部邮箱 ,1985年04期
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