电子能谱法研究GCr15钢注Ar~+及GCr15钢镀Ti、Cr后的Ar~+束混合

【摘要】 对GCr15钢注Ar⁺(能量60keV、剂量φ为0.5、1.0、2.5×10¹⁷Ar⁺/cm²三种)及GCr15钢镀Ti、Cr后的Ar⁺束混合(能量60keV、剂量φ为0.5、1.0、2.0×10¹⁷Ar⁺/cm²各三种)样品进行了俄歇（AES）及俄歇剖面（AES—PRO）分析。结果表明:（1）样品表面含C层随φ增加而增厚;（2）混合元素Ti、Cr成分的Auger峰一峰高与O峰一峰高之比随φ增加而增加。如混合初期Ti:O≈1:2（原子百分比）,而当φ达到2.0×10¹⁷Ar⁺cm²/时,Ti:0≈1:1,这种计量比的变化将导致样品表层物相和结构的变化;（3）AES—PRO分析中,未见到样品表层中Ar成分典型分布的存在。对上述观象进行了简要讨论。更多还原