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一种新型离子源——LY-3型离子源

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【作者】 陈亚光

【机构】 长沙半导体工艺设备研究所

【摘要】 本文介绍了LY—3型——永磁冷阴极电子振荡型离子源(以下简称LY—3型离子源)的结构设计和实验结果。用BF3、PH3、Ar等作放电物质。在放电功率小于50瓦的情况下,引出总束流强度可达4毫安。用于LC—2B中能离子注入机靶上(11)B+和的束流强度大于200微安,(40)Ar+的束流强度(当主高压为零时)大于600微安,同时具有较高成份的多电荷态离子。

  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1985年02期
  • 【被引频次】1
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