节点文献

聚焦离子束装置用的镓液态金属离子源的研制

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 朱一心； 黄焕文； 何喜冠； 杨建生； 宗庆； 余永雄； 贾京英；

【机构】 长沙半导体工艺设备研究所； 长沙半导体工艺设备研究所；

【摘要】 本文介绍一种可供聚焦离子束装置用的镓液态金属离子源。该离子源的亮度高、发射源尺寸极小、发射电流稳定、调节方便、没有气体负载,适用于各种超高真空装置,是进行微离子束技术和表面分析技术开发性研究的关键部件之一。

【关键词】 聚焦离子束； 离子源； 液态金属； 表面分析技术； 外层电子； 费米能级； 场致发射； 能量散度； 发射源； 发射电流；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1985年02期
  • 【被引频次】4
  • 【下载频次】55
知网节下载
节点文献中： 

本文链接的文献网络图示:

本文的引文网络
二级参考文献(0)
参考文献(0)
共引文献(0)
节点文献
同被引文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)