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表面缺陷及其表征
Surface Defects and its Characterizations
【摘要】 <正> 我们把表面缺陷分为原生缺陷和次生缺陷。原生表面缺陷:固体中的各种缺陷被暴露在表面,均成为原生表面缺陷,选材时需力求避免。消除原生表面缺陷是材料研究者的任务。次生表面缺陷:是在器件制做过程中形成的。共有下列十几种:1.光洁度或粗糙度;2.平整度;3.平行度;4.划痕;5.道子;6.裂纹与微裂纹层;7.凹坑;砂眼;8.斑点、台阶
- 【文献出处】 人工晶体 ,Journal of Synthetic Crystals , 编辑部邮箱 ,1985年Z1期
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