【摘要】 <正> 本文报道了 TiO₂薄膜的金属有机化合物汽相淀积（简称 MOCVD）技术。用这一技术生长的氧化物薄膜国外已有报道,其中 TiO₂真结晶膜已用于太阳能电池的抗反射镀层,水的光电解和光催化等各个方面,已成为能源研究中的新型材料之一。用 MOCVD 技术生长的薄膜优于通常所采用的 CVD 法和其他的物理沉积方法,易获得优质的结晶薄膜,目前已成为薄膜制备科学中的最新技术。本工艺采用液态（C₄HgO）₄Ti 为生长的物质源,用电阻丝加热,反应室为垂直放置的石英管,用高纯氮（N₂）作载气,液态（C₄HgO）₄Ti 为恒温,并用氮气携更多还原