高频感应等离子体的能量平衡及极限功率

【摘要】 <正> 1.引言高频感应等离子体由于没有电极的污染,所以在一些超纯材料,如TiO₂、SiO₂的制取中得到了广泛的应用。在这些材料的制取过程中,高频感应等离子体是一个提供高温气体的热源,因此,这时对等离子体弧柱进行吹气不仅是为了冷却等离子体容器,即灯具的器壁,而且也是为了提取等离子体弧柱中的热量,是作为高温热源的必要条件之一。但是,计算有流动时的等离子体各种参数需要花费较长的计算更多还原