干涉扫描微位移测量方法及其应用

【摘要】 <正> 一、前言微位移测量是精密测试的一个重要课题,如压电陶瓷、磁致伸缩材料变形特性的测量,材料膨胀系数的测试,温度稳定性的测量,变形或振动等引起的位移测量都属于这一范畴。微位移测量量程不大,但需要很高的灵敏度及精度,往往需要分辨几十个埃(A)乃至几个埃的变化。常用的双光束干涉方法由于条纹亮暗无明显的界线,不易读数及精确瞄准,所以不能满足微位移测量的要求。本文介绍一种主要由压电陶瓷驱动的多光束干涉扫描方法。采用这种方法能使精度提高、读数简单和易于数字化。更多还原