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ATLAS-AMP3四极质谱计对不同气体测量特性的校准  
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【英文篇名】 PRESSURE CALIBRATION OF A QUADRUPOLE MASS SPECTROMETER ATLAS-AMP 3 FOR DIFFERENT GASES
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【作者】 潘孝仁; 钱声伟;
【英文作者】 Pan Xiaoren Qian Shenwei(Department of Physics);
【作者单位】 华东华工学院物理系;
【文献出处】 华东化工学院学报 , , 编辑部邮箱 1985年 03期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【摘要】 本文提供了四极质谱计ATLAS-AMP 3对六种气体:N_2、Ar、H_2、O_2、CH_4和H_2O的测量特性的校准数据。在校准过程中,气体分压强的测量,采用以电容薄膜规为标准规来校准BA型电离规,并由BA规来测量。实验结果表明:在高的次级电子倍增电压下,各种气体的质谱碎片峰信号与主峰信号比值才趋于常数;气体分压强与主峰输出信号的比值随次级电子倍增电压增大而急剧减少。
【英文摘要】 The data of the pressure calibration of a quadrupole mass spectrometer ATLASAMP 3 for six gases: N_2, Ar, H_2, O_2, CH_4 and H_2O are presented. Two kinds of commercially available ionization gauges were served in the calibration system, there are Bayard-Alpert type Balzers IM 15-52 U and Varian UHV-24. A capacitance manometer Baratron can be used as a first standard gauge. The data of calibration of Balzers IM 15—52 U against Baratron gauge and extrapolation of the data can be used as a secondary standard ...
【更新日期】 2005-10-17
【正文快照】 四极质谱计由于具有不用磁铁、工作压强宽、良好的灵敏度、结构及操作简单等许多优异的特性而在残余气体分析,次级离子质量分析「’〕等方面得到了广泛的应用。为了定量测量,使用前须对不同气体的测量特性进行校准。木实验将四极质谱计ATLAS一AMP3对六种气体:NZ、Ar、H:、02、c

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