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活化法测量溅射Au原子的各向异性

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【作者】 陶振兰； 郑里平； 王功庆； 张衡山； 张阿虎；

【机构】 中国科学院上海原子核研究所； 上海半导体器件研究所； 上海半导体器件研究所；

【摘要】 <正> 用能量为60keV的Ar~+束轰击纯度为99.999％的多晶Au靶。Ar~+束入射方向与靶面方向夹角为60°。为了测量被溅射的Au原子的角分布,设计了一种封闭式的捕集器,利用薄碳膜作为收集膜,收集入射平面内的溅射原子。然后把收集膜与标准样品Au箔叠加在一起,经中子发生器的14MeV快中子在同一几何下辐照后,用Ge(Li)γ谱仪、多道分析器和电子计算机

【关键词】 各向异性； 溅射；
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