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固体径迹的蚀刻方法  
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【英文篇名】 Etching methods for SSNTDs
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【作者】 孟武;
【英文作者】 Meng Wu (Institute of Atomic Energy; Academia Sinica);
【作者单位】 中国科学院原子能研究所;
【文献出处】 核技术 , Nuclear Techniques, 编辑部邮箱 1985年 04期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
【中文关键词】 电化学蚀刻; 闪电化学蚀刻;
【英文关键词】 electrochemical etching lightening chemical etching;
【摘要】 <正> 目前,许多应用领域急待蚀刻方法有更大的改进,例如,在核爆炸的快中子测量中希望进行微分蚀刻;火花计致辞的应用中希望有更大的V_t/V_g比值。因此,无论对于固体径迹探测器本身的研究还是应用来说,进一步探索蚀刻机制、寻找新的蚀刻方法,都是很重要的。
【正文快照】 目前,许多应用领域急待蚀刻方法有更大的改进,例如,在核爆炸的快中子侧量中希望进行微分蚀刻,火花计数器的应用中希望有更大的叭/V,比值。因此,无论对于固体径迹探测器本身的研究还是应用来说,进一步探索蚀刻机制、寻找新的蚀刻方法,都是很重要的。 1.常挽蚀刘方法所谓常规蚀刻

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