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固体径迹的蚀刻方法
 
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【英文篇名】
Etching methods for SSNTDs
【下载频次】
★
【作者】
孟武
;
【英文作者】
Meng Wu (Institute of Atomic Energy
;
Academia Sinica)
;
【作者单位】
中国科学院原子能研究所
;
【文献出处】
核技术
,
Nuclear Techniques
,
编辑部邮箱
1985年 04期
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】
电化学蚀刻
;
闪电化学蚀刻
;
【英文关键词】
electrochemical etching lightening chemical etching
;
【摘要】
<正> 目前,许多应用领域急待蚀刻方法有更大的改进,例如,在核爆炸的快中子测量中希望进行微分蚀刻;火花计致辞的应用中希望有更大的V_t/V_g比值。因此,无论对于固体径迹探测器本身的研究还是应用来说,进一步探索蚀刻机制、寻找新的蚀刻方法,都是很重要的。
【正文快照】
目前,许多应用领域急待蚀刻方法有更大的改进,例如,在核爆炸的快中子侧量中希望进行微分蚀刻,火花计数器的应用中希望有更大的叭/V,比值。因此,无论对于固体径迹探测器本身的研究还是应用来说,进一步探索蚀刻机制、寻找新的蚀刻方法,都是很重要的。 1.常挽蚀刘方法所谓常规蚀刻
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