【摘要】 <正> 一、引言 近来,尽管等离子体诊断技术有了很大发展,古老的朗缪尔探针由于结构简单,使用方便且有较好的时间空间分辨,至今仍作为基本诊断工具而广泛使用。但是,简单的朗缪尔探针理论只适用于中等密度(L》r》λD,L是平均自由程,r是探针半径,λD是德拜长度),对于低密度等离子体(r≤λD),朗缪尔探针理论复杂得失去了实用价值。本文将给出两个适合于低密度情况下的简单公式,并介绍一种实验中所用的静电能量分析器。更多还原

【Abstract】 Since the simple theory for probe measurement is not suitable for low density plasma, two equations are recommended to obtain electron and ion density from the probe characteristics of the plasma. An ion energy analyzer used in the measurement of ion distribution function is described, the experimental results are presented.更多还原