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电子束曝光机工作台的结构分析
【摘要】 <正> 微细加工技术是微电子工业的基础。电子束曝光技术的发展使微细加工技术跨入新时代,现将国外有代表性的几家主要公司电子束曝光机工作台的结构分析如下。
- 【文献出处】 电子工艺技术 ,Electronics Process Technology , 编辑部邮箱 ,1985年12期
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【摘要】 <正> 微细加工技术是微电子工业的基础。电子束曝光技术的发展使微细加工技术跨入新时代,现将国外有代表性的几家主要公司电子束曝光机工作台的结构分析如下。