用剥离光刻制作小面积Pb合金薄膜隧道结

【摘要】 本文报导了用剥离光刻的方法制作小面积Pb-In和Pb-In-Au合金隧道结的实验结果,使用AZ-1350J光刻胶,采取适当的光刻步骤,图形线宽可以作到1-2μm,结面积最小为2μm~2。用直流辉光放电氧化或射频氧化制作成的Pb合金隧道结,临界电流密度最大为10~4A/cm~2。160个串联Pb-In合金隧道结(结面积为10×10μm~2)在室温—4.2K之间热循环3次后,结无一损坏。Pb-In-Au合金隧道结(结面积为2μm~2)经过18次室温和4.2K之间的热循环和在室温下保存90天之后,结的特征没有明显变化。更多还原