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低温强磁场下Si MOS反型层输运特性的研究

TRANSPORT PROPERTIES OF Si MOS INVERSION LAYERS IN HIGH MAGNETIC FIELDS AT LOW TEMPERATURE

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【作者】 郑厚植程文超朱詠堂王杏华李月霞毕可奎李承芳江丕桓

【Author】 Zheng Houzhi;Cheng Wenchao;Zhu Yong tang;Wang Xinghua;Li Yuexia;Bi Kekui;Li Chengfang;Jiang Pihuan Institute of Semiconductors Academia Sinica

【机构】 中国科学院半导休研究所中国科学院半导休研究所 北京北京北京

【摘要】 制备了4.2K下电子迁移率达1~2×10~4cm~2/v·sec的MOS反型层,在强磁场下观察到二维电子系统的一系列典型物理现象:SdH振荡及量子霍尔效应.

【Abstract】 Si MOS inversion layers with electron mobilities 1-2×10~4cm~2/v·sec (4.2 K) havebeen prepared. In high magnetic fields inversion layer electrons exhibit interestingproperties of two-dimensional electron gas. SdH oscillations and quantum Hall effecthave been observed.

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