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硅烷的分析

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【作者】 尹恩华； 杨雪珍； 于凤来； 郎文卉；

【机构】 中国科学院半导体研究所； 中国科学院半导体研究所；

【摘要】 <正> 在大规模集成电路和非晶硅研制中,常常要对硅烷的纯度及其组分进行分析。有关硅烷分析的文章国内、外公开报道的不多。现有文献以苏联的居多,其次是日本和美国。1975年等报道了用光谱法测定硅烷中的总碳。1978年和1980年用气相色谱法测定硅烷中的 O2、N2和 CH4,用光谱法测定

【关键词】 检定器； 光谱法； 气相色谱仪； 热导检测器； 最小检测量； 分离柱； 非晶硅； 充氢； 氢火焰； 气相色谱法；
  • 【文献出处】 低温与特气 ,Low Temperature and Specialty Gases , 编辑部邮箱 ,1985年01期
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