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微细加工技术

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【作者】 沈钊；

【机构】 清华大学；

【摘要】 <正> (一)精密加工技术的发展与微细加工技术图1横座标表示年代,纵座标表示可达到的加工精度。这个图说明不同年代达到的最高加工精度。例如,1910年为10μm,1930年为1μm,1950年为0.1μm,而1980年以后则最高精度已达0.01μm,进入向毫微米进军的阶段。图中的三根曲线分别代表一般加工、精

【关键词】 微细加工技术； 加工精度； 精密加工技术； 超精密加工； 原子级加工； 超精密切削； 电子束加工； 工件表面； 切削厚度； 三根；
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