【摘要】 报道了几种腐蚀InP（100）面位错的新的化学腐蚀剂:HBr,HCl:HBr及 H₂SO₄:HBr.腐蚀坑的形状为倒锥形.将以上几种新腐蚀剂在InP（100）面上的腐蚀坑分别与Huber腐蚀剂的位错腐蚀坑作了比较.更多还原

【Abstract】 Some new dislocation etchants for In P are reported including HBr, HCl:HBrand H₂SO₄:HBr.These etchants produce distinct pyramidal pits on the （100） surface,and are compared with Huber etchant.更多还原