含氢非晶硅(a-Si:H)用于台面型硅变容管的钝化保护

【摘要】 <正>本文报道了用含氢非晶硅作为台面型硅变容管钝化新方法.这种方法采用SuO₂+α-SiH双层钝化膜结构.在α-Si:H淀积过程中,严格掌握衬底温度,采用相应的退火条件,以确保钝化膜的必要的稳定性.这种钝化方法能明显地降低反向漏电流,比单层SiO₂钝化可使器件成品率提高一倍左右.器件经过高温、潮湿、高温电老化、常温存放等环境试验,显示了具有高可靠性与稳定性.本文对于用SiO₂+α-Si:H的钝化机理也作了初步的探讨.更多还原