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分子束外延GaAs单晶薄膜

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【作者】 孔梅影； 孙殿照； 黄运衡； 梁基本； 陈宗圭； 李歧旺；

【机构】 中国科学院半导体研究； 中国科学院半导体研究；

【摘要】 本文主要介绍我们在自己研制的分子束外延(MBE)设备上进行的GaAs单晶薄膜的生长研究。这个工作从1980年开始,在不断改进分子束外延设备和外延生长条件的基础上,使MBEGaAs的性能有了大幅度的提高。

【关键词】 分子束外延； 薄膜结构； 外延层； 生长研究； 电学性能； 生长速率； 液相外延； 气相外延； 薄膜生长； 样品架；
  • 【文献出处】 稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,1984年06期
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