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三维LPCVD计算机模拟

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【作者】 王季陶； 张世理； 王焕杰； 连美华；

【机构】 复旦大学； 复旦大学；

【摘要】 <正> 低压化学蒸汽淀积(LPCVD)薄膜技术发展很快,在集成电路、太阳能电池研制中占有重要地位,本文在一维LPCVD计算机模拟的基础上,进一步提出了三维模拟算式,以便

【关键词】 LPCVD； 计算机模拟； 薄膜技术； 淀积； 均匀性； 极坐标系； 工艺条件； 超越方程； 计算公式； 修正项；
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