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激光化学沉积

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【作者】 顾原岗； 沈光平； 邱明新；

【机构】 上海激光技术研究所； 上海激光技术研究所；

【摘要】 <正> 引言激光化学沉积是激光化学用于固体电子学研究的一种方法,将一定波长和功率的激光束聚焦在基片上,基片置于金属有机化合物或其他一些有机和无机化合物的气体中,使该气体分解出原子沉积在基片上,此法可用于半导体的局部掺杂、欧姆接触和光刻

【关键词】 激光化学； 化学沉积； 激光束聚焦； 紫外激光； 欧姆接触； 固体电子学； 金属有机化合物； 沉积方法； 二甲基锌； 分布反馈激光器；
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