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一套超高真空测试系统的研制

THE DEVELOPMENT OF ONE SET OF ULTRA-HIGH VACUUM TESTING SYSTEM

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【作者】 岑力民； 陆明； 钱少青；

【Author】 Chen Li ming Lu Ming Qian Shao qing (Shanghai Vacuum Pump Works)

【机构】 上海真空泵厂； 上海真空泵厂；

【摘要】 <正> 本文介绍了超高真空测试系统的结构特点。测试表明,系统在没有通液氮的情况下,极限真空度为1.8×10-11托,通液氮的情况下,抑制规测得的极限真空度为6×10-12托。测试系统暴露氮气（1大气压）10分钟后经8小时250℃烘烤,钛离子泵起动后3小时真空度为3.4×10-11托。由于极限真空高,该系统能作超高和极高真空规管的对比测试和相对校准,还能作超高真空规管的本底压强的测量。

【关键词】 测试系统； 极限真空； 离子泵； 真空度； 极高真空； 规管； 升华泵； 裸规； 对比测试； 除气；
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