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离子注入技术在光电检测器中的应用
【摘要】 本文介绍了应用离子注入技术制作光电检测器的实验情况,研究了注入条件对器件光电特性的影响。实验结果表明:采用离子注入法制作的光电检测器其光电特性较好,具有高的电流响应度和良好的均匀性。
- 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1984年04期
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【摘要】 本文介绍了应用离子注入技术制作光电检测器的实验情况,研究了注入条件对器件光电特性的影响。实验结果表明:采用离子注入法制作的光电检测器其光电特性较好,具有高的电流响应度和良好的均匀性。