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氮离子注入GCr15钢的初步实验结果
【摘要】 本文叙述在100Kev能量下,以1—6×1017/cm2的不同剂量对GCr15钢进行了单纯N2+注入和轰击扩散镀铬层注入以实现离子束混合。结果表明:注入样品表面显微硬度均有不同程度的提高,其相对最大提高量为340.9%;定性地表明了抗腐蚀性能有所增强;俄歇电子能谱(AES)分析得出了一些有趣的结果。如注入后样品表面含氧量均大幅度降低;钢中含氮量存在一个极值浓度;在高剂量注入下,表面镀铬层与基体材料获得了较好的混合等。最后进行了一些讨论与分析。
- 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1984年02期
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