磁控溅射离子镀技术和铝镀膜的组织形貌、相组成及新相形成物理冶金过程的研究

【摘要】 <正> 一、前言众所周知,材料表面镀渗一层铝能提高耐蚀性;另外由于铝镀膜质软可塑性好,很适用于弹簧及有螺纹的零件。但是多年来始终末能找到理想的技术来实现。若采用电镀法很难进行;蒸镀法又因附着性不好而不能采用。可是采用离子镀技术后,由于它具有工艺温度低、沉积速度快、镀渗层组织致密、附着性及绕镀性好又无公害等优点,所以应用领域越来越广泛。更多还原