0.05微米弹性变形微量进刀机构的设计与试验

【摘要】 <正> 目前,精密加工技术,已进入了0.1～0.01微米的超精密加工阶段。要达到这样高的加工精度,除刀具和工件的相对运动轨迹要严格满足构型运动的要求外(主轴的回转精度,导轨的平直度、平行度,整个工艺系统的热、动、静刚性均应达到一定的要求),机床具有高精度的微量进刀更多还原