减小热偶真空计校准曲线偏差的途径

【摘要】 <正> 由于热偶真空计可以连续远距离测量和适用于所有气体成分,所以它是目前得到广泛使用的低真空测量仪器。因为至今对有关气体分子与固体表面的碰撞研究得不够,也由于与气体分子和固体表面的热交换情况有关的聚合系数所引起的不稳定性,因而这种真空计的示值不能通过计算得到。它需要与高精度的标准真空计或校准装置进行比较刻度,描绘出压强—毫伏值曲线以后,才能投入使用。压强—毫伏值曲线(又称标准曲线)的准确度如何,直接决更多还原