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位移扫描压电陶瓷动态线性的测量

Measurement of displacement linearity of scanning piezoelectric ceramics

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【作者】 钱石南

【Author】 Qian Shinan

【机构】 中国科学院安徽光机所

【摘要】 <正> 一、前言 压电陶瓷在科研、测试和生产上有越来越广的应用,而在科研、精密测试中要以压电陶瓷的位移或电压作基准来测量其它量,所以对其位移和电压关系的线性度提出了很高的要求。 虽然,根据压电效应这一术语,它意味着在弹性极限内,形变与施加的电场是线性关系,但实际上并非严格保持线性,一般是随着电压的升高,变形增加更快。不同材料、不同电压和不同外形尺寸其非线性度也各不相同。 二、较大范围内动态线性度的测量方法 压电陶瓷的静态变形曲线及滞后的测量可用干涉扫描方法。在动态扫描时由于负荷特性和扫描时间不同及压电陶瓷滞后的影响等,其结果不全相同。 测试原理如图1。用待测压电陶瓷3和镀有反射膜的两腔片1、2组成F-P干涉测试装置。用Burleigh公司的RC-44锯齿波发生器以约800伏电压扫描腔片2,硅光二极管4接收光信号并在SBD-6示波器上显示出稳定的波形,然后照相并在

【Abstract】 The displacement linearity of scanning piezoelectric ceramics can be measured by scanning interference method with a He-Ne laser and a high voltage ramp generator. The results of two typical piezoelectric ceramics are given.

  • 【文献出处】 中国激光 ,Chinese Journal of Lasers , 编辑部邮箱 ,1984年07期
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