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椭圆偏振光谱测定α-Si的空位总体积分数

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【作者】 费庆宇； 黄炳忠；

【机构】 中国电子产品可靠性与环境试验研究所； 中山大学；

【摘要】 <正> 利用椭圆偏振光谱测得α-Si薄膜的有效介电函数,然后借助Webman等发展的、适用于四面体无定形半导体材料的有效介质理论,可以获得α-Si样品的总空位体积分数。按Webman的有效介质理论,经多次散射,光通过复介电函数分别为ε1（λ）,ε2（λ）,…,εi（λ）,…,εn（λ）的n种介质组成的导质系统,有如下关系:

【关键词】 Si； 介质组成； 椭圆偏振； 体积分； 介电函数； 光谱测定； 积分数； 多次散射； 溅射制备； 光谱范围；
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