轻元素分析技术

【摘要】 <正> 电子探针、扫描电子显微镜的应用愈来愈广,无论是冶金、材料学等各个领域都迫切需要对超轻元素(B、C、N、O、F)进行分析。由于这些元素的特征X射线波长较长,因此影响分析测试的因素较多,例如X射线的吸收严重,样品污染影响分析精度,以及X射线探测器的输出脉冲幅度小。能量分辨率差等,为了进行超轻元素分析就必须采取一系列的措施,例如采用超薄膜探测器窗口,采用负气压流气正比计数管,以提高输出脉冲幅度及能量分辨率等。本文将叙述有关超轻元素分析的关键技术,包括超薄膜探测器窗口的制备,及流气正比计数管负气压工作条件的获得等。共分以下三节。更多还原