金属薄膜K系、L系标识谱强度比的测定

【摘要】 <正> 利用TEM上的X光能谱仪可以对薄试样的微区成分进行分析。目前主要的定量分析方法是实验K因子法和理论K因子法。实验K因子的定义为: K_AB=C_A/C_B/I_A/I_B这里,C_A、C_B是合金试样中A、B元素的已知重量百分比,I_A、I_B是测量得到的A、B元素的x射线强度。文献给出了Cliff和Lorimer在入射电压E₀=100kV、使用EMMA-4测得的原子序数Z=11-50之间的元素K_α-K_α线系的17个K_实值和L_α-K_α线系的5个K_实值,以及Goldstein et al,的对元素K_α线系的理论计算K_理值。从目前的分析看,每个仪器应有自己的一套K_实。实验K因子法使用不方便。而K_理对同一线系的分析,除了Na、Mg、Al外结果较好,但对不同线系如K、L线系分析,其相对误差可达>30％。更多还原