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溅射法制备a-Si_xC_1-x:H薄膜光电性能的研究

Optical and Electrical Properties of Sputtered a-Si_xC_1-x: H Films

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【Author】 Zhang Fang-qing, Zhang Nan-ping, Liu zhi, Wang Yin-yue, Chen Guang-nua(Department of Physic, Lanzhou University).

【机构】兰州大学物理系；兰州大学物理系；

【摘要】本文介绍了用溅射法制备的a-Si_xC_1-x:H薄膜光学带隙和电导激活能与碳含量的关系,测量了所得样品的红外吸收谱、光电子谱及折射率。对所得结果进行了初步的讨论。更多还原

【Abstract】 The relations among the band gap, conductive activation energy and the carbon content in the SP-a-SixC1 -x: H films are presented, together with the IR and XPS spectra and refractive index, and followed by some preliminary discussions of the obtained results.更多还原