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清洗工艺对石榴石薄膜缺陷的影响

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【摘要】 利用干涉显微镜和指状畴技术研究了不同清洗工艺对石榴石薄膜缺陷的影响。提出了一种行之有效地消除石榴石薄膜表面助熔剂熔滴的新方法。

  • 【文献出处】 磁性材料及器件 ,Journal of Maghetic Materials and Deveices , 编辑部邮箱 ,1984年04期
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