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Nb3Ge超导薄膜化学组份的X射线荧光光谱法非破坏快速测定

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【作者】 吴长存； 郝贡章； 许佩珍； 李明洁；

【机构】 北京有色金属研究总院； 北京有色金属研究总院；

【摘要】 本文以 X 射线荧光光谱法薄样原理为依据,采用人工合成滤纸片薄样标准,直接测定 Nb3Ge超导薄膜的化学组份。并根据通用薄层判据,估算薄膜厚度的影响。Nb3Ge 超导薄膜厚度在不大于1微米即试样面密度不大于800微克/厘米2范围内,方法的相对标准偏差优于1%。

【关键词】 超导薄膜； Nb3Ge； 荧光光谱法； 薄膜厚度； 组份； 薄膜样品； 荧光光谱仪； 滤纸片； 不大于； 标定法；
  • 【文献出处】 稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,1983年04期
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