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在镍基合金上化学气相沉积钽涂层的研究
【摘要】 应用五氯化钽氢还原的化学气相沉积的方法,研究了镍基合金上涂钽。讨论了钽的沉积速度、沉积物的显微结构和沉积条件的关系。讨论了反应过程动力学及机理、确定速度限制性环节为表面化学反应。对涂层物进行耐腐蚀实验,结果较好。
- 【文献出处】 稀有金属 ,Chinese Journal of Rare Metals , 编辑部邮箱 ,1983年03期
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【摘要】 应用五氯化钽氢还原的化学气相沉积的方法,研究了镍基合金上涂钽。讨论了钽的沉积速度、沉积物的显微结构和沉积条件的关系。讨论了反应过程动力学及机理、确定速度限制性环节为表面化学反应。对涂层物进行耐腐蚀实验,结果较好。