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TPP-1型椭圆偏振光谱仪

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【作者】 江任荣; 陈树光; 叶贤京; 莫党;

【机构】 中山大学物理系; 中山大学物理系;

【摘要】 <正> 一、前言椭圆偏振光谱仪是一种研究和测定薄膜、表面及固体的光学仪器。它是通过分析光在样品上反射时偏振状态的变化进行测量的,这种测量对表面结构和表面过程非常敏感、精确度

  • 【文献出处】 仪器仪表学报 ,Chinese Journal of Scientific Instrument , 编辑部邮箱 ,1983年04期
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